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          首頁 > 產(chǎn)品中心 > 工業(yè)控制系列 > 氣體流量計>MC型MC 氣體標準質(zhì)量流量控制器

          產(chǎn)品名稱:MC 氣體標準質(zhì)量流量控制器

          發(fā)布時間:2023-12-22

          產(chǎn)品型號:MC型

          產(chǎn)品特點:MC 氣體標準質(zhì)量流量控制器控制響應很快、很穩(wěn)定的質(zhì)量流量控制器,可測量并控制低至2.5微升的流量,依照用戶應用需求量身定制閥門孔徑以確保達到很好工作效果。

          MC型MC 氣體標準質(zhì)量流量控制器的詳細資料:

          MC 氣體標準質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品介紹:


            MC 氣體標準質(zhì)量流量控制器全球控制響應很快、很穩(wěn)定的質(zhì)量流量控制器,可測量并控制低至2.5微升的流量,依照用戶應用需求量身定制閥門孔徑以確保達到很好工作效果。


          所有氣體的滿量程流量在0.5 SCCM和 5000 SLPM之間( H2 為 10,000 SLPM)

          監(jiān)測四個變量: 質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度

          控制三個變量之一:質(zhì)量流量、體積流量或壓力

          預加載98 多種氣體校準且可供用戶選擇

          本地、模擬或數(shù)字控制,包括工業(yè)協(xié)議


          技術參數(shù):


          穩(wěn)態(tài)控制范圍:滿量程的0.01% – 100%

          NIST 可追溯校準

          標準精度:讀數(shù)的 ±0.6% 或滿量程的 ±0.1%,以較大者為準

          高精度:讀數(shù)的 ±0.5% 或滿量程的 ±0.1%,以較大者為準

          重復性:±(讀數(shù)的0.1% + 滿量程的0.02%)

          典型控制響應時間:快至 30 ms

          預熱時間:<1秒

          兼容氣體:98+ 純氣體和混合非腐蝕性氣體

          工作溫度:–10°C 至 +60°C

          滿量程工作壓力:160 PSIA (11 barA)


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